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超薄超细高斯计探头
来源:www.029ybc.com 发布时间:2012-10-29 16:48:54 浏览次数:次

详细说明:
超薄超细高斯计探头也叫特斯拉计传感器
特点如下:
⒈探头稳定性问题:霍尔探头的稳定性与传感器所用材料、生产工艺、设计及封装均有很大关系,我们把稳定性又分为长期工作稳定性和高温工作稳定性。为此提出不等位电势时漂、不等位电势温漂、霍尔输出时漂、霍尔输出温漂、霍尔输出平均温度系数和内阻温度系数等参数的筛选和测试方法,保证探头质量。
⒉灵敏度问题:灵敏度与材料迁移率、厚度和版图设计有关,高灵敏度虽使后续电路设计简单,但会带来输出的不稳定,因此用于计量时最好选用灵敏度适中,稳定性好的探头。这里特别指出国外低价霍尔都是离子注入然后退火工艺,晶格损伤严重不适合高精度测量。
⒊不等位电势:实验表明不等位电势对探头的温度特性、电流特性及线性度有着一定规律,筛选不当直接影响整机测试精度。
⒋线性度:传感器的材料、版图几何图形和结型场效应三方面对其线性度影响最大,当然线性度可以用计算机补偿,但总希望获得线性度好的探头,以避免探头参数的分散性带来建立补偿模型的麻烦。
⒌探头的可逆性(对称性):由于材料和欧姆接触工艺等方面原因引起,造成正负磁场测试误差。
⒍可靠性及长期寿命:霍尔探头是一种体效应器件,我们采取的钝化技术解决了表面及界面问题,MTBF远大于107 小时。
⒎器件封装问题:探头分为径向、轴向、正交和三维探头四大类,尺寸上又分为标准型、超薄型和超细型及绕性探头,目前我们的设备和工艺水平达到国外先进国家水平。